Измерение относительной диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь методом щелевого резонатора

Метод щелевого резонатора предназначен для измерения комплексной диэлектрической проницаемости ламинарных диэлектрических материалов, включая LTCC подложки, а также тонких сегнетоэлектрических пленок, нанесенных на диэлектрические подложки с низкими потерями.

Достоинством метода является возможность измерения образцов диэлектрика в виде пластин, листов, подложек и дисков малой толщины. В лабораторных условиях возможно измерение диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь на частотах: 1,1 ГГц; 2,5 ГГц; 5,1 ГГц; 10 ГГц; 15 ГГц.

Погрешность определения диэлектрической проницаемости зависит от толщины диэлектрического образца, h и находится согласно формуле:

Δεr/εr=±(0.0015 + Δh/h);

Погрешность тангенса угла диэлектрических потерь составляет:

Δtanδ=±2*10-5 или ±0.03*tanδ, по большей величине.

Размеры измеряемого образца должны быть подобраны в зависимости от того, на какой частоте необходимо провести измерения. В таблице приведены рекомендуемые геометрические размеры диэлектрических образцов для различных резонаторов.

Номинальная частота резонатора [ГГц] Рекомендованный размер образца [мм] Мах. ширина образца [мм] Мах. толщина образца [мм]
1,1 130×180 150 6,0
2,45 / 2,5 70×80 100 3,1
5 / 5,1 40×50 90 1,95
10 30×50 90 0,95
15 20×30 40 0,6

 

В лабораторных условиях НИИ МЭС возможно осуществить подготовку образцов к измерениям: травление, нарезка образцов на определенные размеры, просушка образцов в сухожаровом шкафу.

НИИ МЭС обладает необходимым оборудованием для проведения измерений в температурном диапазоне -60°С…+110°С.