Научно-исследовательский институт микроэлектронных систем (НИИ МЭС) является подразделением Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР).
НИИ МЭС был создан на базе научной лаборатории ТУСУРа 3 августа 2018 года, объединив специалистов с многолетним опытом в области разработки СВЧ интегральных схем. НИИ МЭС органично дополнят существующий в Томске кластер по твердотельной СВЧ электронике, объединяющий промышленные предприятия, научно-исследовательские и образовательные организации и решающий важнейшую задачу возрождения и дальнейшего развития отечественной микроэлектроники.
В настоящее время в НИИ работает более 30-ти высококвалифицированных сотрудников, имеется парк современных измерительных приборов и сборочного оборудования.
В состав института входят следующие структурные подразделения:
- дизайн-центр по проектированию радиочастотных и СВЧ интегральных схем и систем-на-кристалле;
- участок измерений и испытаний СВЧ микросхем, модулей и устройств;
- лаборатория сборки и монтажа кристаллов и СВЧ модулей;
- учебно-исследовательская лаборатория систем автоматизированного проектирования (САПР).
Компетенции НИИ сосредоточены в области проектирования, разработки и измерений микросхем СВЧ диапазона на основе как традиционных полупроводников Si и SiGе, так и соединений типа AIIIBV.
Основные направления исследований и разработок НИИ МЭС следующие:
- Электрофизическое моделирование СВЧ транзисторов на основе гетероструктурных GaAs и GaN материалов;
- Проектирование заказных СВЧ интегральных схем на основе GaAs/GaN/Si/SiGe материалов;
- Зондовые измерения и характеризация СВЧ интегральных схем и их элементов;
- Разработка интегральных приёмопередатчиков на базе Si/SiGe тех. процессов;
- Разработка радиофотонных интегральных схем, устройств и систем на базе кремниевых тех. процессов (Silicon Photonics);
- Разработка и изготовление СВЧ модулей и систем на основе интегральных схем;
Кроме того, НИИ МЭС принимает активное участие в образовательной деятельности по подготовке кадров высшей квалификации и специалистов в этих областях.